高精度、零污染、全自動(dòng):富唯智能復(fù)合機(jī)器人重塑半導(dǎo)體制造新標(biāo)桿
發(fā)布日期:
2025-07-05

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半導(dǎo)體行業(yè)正面臨前所未有的挑戰(zhàn):晶圓尺寸日益縮小、潔凈車間標(biāo)準(zhǔn)趨嚴(yán)、人力成本持續(xù)攀升……傳統(tǒng)人工搬運(yùn)和剛性產(chǎn)線已難以滿足“精密、潔凈、柔性”的核心需求。富唯智能以“手腳眼腦”一體化技術(shù)架構(gòu),打造出復(fù)合機(jī)器人解決方案,直擊行業(yè)痛點(diǎn),成為半導(dǎo)體智造升級(jí)的關(guān)鍵引擎。


 高精度、零污染、全自動(dòng):富唯智能復(fù)合機(jī)器人重塑半導(dǎo)體制造新標(biāo)桿


一、破局半導(dǎo)體制造,富唯復(fù)合機(jī)器人的硬核優(yōu)勢(shì)

富唯復(fù)合機(jī)器人深度融合協(xié)作機(jī)械臂、AMR移動(dòng)底盤與3D視覺(jué)系統(tǒng),在半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵場(chǎng)景中展現(xiàn)出不可替代性:


高精度、零污染、全自動(dòng):富唯智能復(fù)合機(jī)器人重塑半導(dǎo)體制造新標(biāo)桿


1.毫米級(jí)操作精度:搭載自研2D/3D視覺(jué)平臺(tái),對(duì)晶圓、芯片等微型元件實(shí)現(xiàn)±0.05mm(2D)至±0.2mm(3D)的抓取精度,遠(yuǎn)超人工操作極限,從源頭保障良品率;


高精度、零污染、全自動(dòng):富唯智能復(fù)合機(jī)器人重塑半導(dǎo)體制造新標(biāo)桿


2.千級(jí)潔凈環(huán)境自適應(yīng):通過(guò)全封閉設(shè)計(jì)及防靜電材料,徹底消除人工搬運(yùn)導(dǎo)致的微粒污染與靜電損傷,實(shí)測(cè)良率提升至99.9%;

3.全域柔性移動(dòng)能力:360°全向底盤搭載激光SLAM導(dǎo)航(±5mm定位精度),在密集設(shè)備間自主規(guī)劃路徑,打破傳統(tǒng)軌道式傳輸?shù)膭傂允`;

4.多機(jī)智能協(xié)同中樞:FRDS調(diào)度系統(tǒng)支持多機(jī)動(dòng)態(tài)避讓與任務(wù)分配,30臺(tái)機(jī)組協(xié)同作業(yè)時(shí),系統(tǒng)避讓效率提升200%。


高精度、零污染、全自動(dòng):富唯智能復(fù)合機(jī)器人重塑半導(dǎo)體制造新標(biāo)桿


二、實(shí)戰(zhàn)案例:東莞半導(dǎo)體封裝廠的效率革命

東莞某半導(dǎo)體封裝廠的固晶車間,曾是人工搬運(yùn)的“重災(zāi)區(qū)”:晶圓轉(zhuǎn)運(yùn)效率低、破片率高、插單響應(yīng)滯后。引入富唯復(fù)合機(jī)器人集群后,其生產(chǎn)流程被徹底重構(gòu):

1.高效轉(zhuǎn)運(yùn):?jiǎn)闻_(tái)機(jī)器人服務(wù)15臺(tái)固晶機(jī),轉(zhuǎn)運(yùn)節(jié)拍縮短至18秒,人力成本年降42萬(wàn)元;

2.零破片保障:通過(guò)視覺(jué)精準(zhǔn)定位與力控防撞設(shè)計(jì),脆弱晶圓破片率趨近于零;

3.動(dòng)態(tài)重組能力:訂單波動(dòng)期,系統(tǒng)2小時(shí)內(nèi)完成產(chǎn)線重組,無(wú)縫應(yīng)對(duì)緊急插單。

該方案不僅實(shí)現(xiàn)日均5000片晶圓的穩(wěn)定處理,更將良品率推升至99.8%,成為行業(yè)智能化升級(jí)的標(biāo)桿范例。

 

三、技術(shù)內(nèi)核:從單點(diǎn)突破到全鏈賦能

富唯的競(jìng)爭(zhēng)力源于深度融合的三大技術(shù)引擎:

1.AI-ICDP智能控制平臺(tái):圖形化拖拽編程實(shí)現(xiàn)“15分鐘任務(wù)鏈配置”,大幅降低部署門檻;

2.機(jī)器視覺(jué)動(dòng)態(tài)決策:高分辨率相機(jī)結(jié)合深度學(xué)習(xí)算法,實(shí)現(xiàn)芯片姿態(tài)毫秒級(jí)識(shí)別與缺陷檢測(cè),漏檢率趨近于零;

3.磷酸鐵鋰超長(zhǎng)續(xù)航:支持12小時(shí)連續(xù)作業(yè),完美匹配半導(dǎo)體車間“兩班倒”節(jié)奏。

從晶圓轉(zhuǎn)運(yùn)、鍵合絲復(fù)繞檢測(cè)到芯片料框抓取,富唯以模塊化設(shè)計(jì)打通了半導(dǎo)體制造的全鏈路閉環(huán)。

當(dāng)機(jī)械臂在千級(jí)潔凈室中劃出精準(zhǔn)軌跡,當(dāng)AMR底盤在設(shè)備集群間自主穿梭——富唯智能復(fù)合機(jī)器人正以“移動(dòng)+操作+決策”三位一體的技術(shù)革命,推動(dòng)半導(dǎo)體制造從“經(jīng)驗(yàn)驅(qū)動(dòng)”邁向“數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)”。未來(lái),我們將持續(xù)深耕精密控制與柔性適配能力,助力中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在全球價(jià)值鏈中加速攀升!